欧洲后 2nm 先进制程中试线 NanoIC 正式启用,总投资 25 亿欧元

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2 月 9 日消息,比利时半导体研究机构 imec 今日在其鲁汶总部宣布,由其牵头建设的后 2nm 先进制程中试线 NanoIC 正式启用。

该项目总投资达 25 亿欧元(现汇率约合 204.96 亿元人民币),来自欧盟(7 亿欧元)、该国与当地政府(7 亿欧元)、ASML 等行业合作伙伴(11 亿欧元)。

NanoIC 配备了来自 ASML 的 High NA EUV 光刻机,旨在弥合实验室与商业晶圆厂间的鸿沟,推动人工智能、自动驾驶、个性医疗、6G 网络、量子计算等领域的突破。

注意到,NanoIC 项目稍早前还推出了适用于 A14 级别工艺与 eDRAM 的寻路 PDK(工艺设计套件)。